潔凈室AMC監測系統，主要進行潔凈室微污染氣體分子監控用，以下是一些儀器功能介紹：

1．氨分析儀功能用途: 利用離子遷移譜或化學發光法分析潔凈室內或別的區域環境的氨氣體分子實時濃度數據。

2．總酸分析儀功能用途: 利用離子遷移譜分析潔凈室內或別的區域環境的總酸氣體分子實時濃度數據。

3．總硫分析儀系統功能用途: 利用紫外線熒光法及其配套系統分析潔凈室內或別的區域環境的總硫化合物氣體分子實時濃度數據。

4．總有機污染物分析儀功能用途: 利用氣相色譜及其配套系統分析潔凈室內或別的區域環境的總有機污染物氣體分子實時濃度數據。

5．分析儀進樣器模塊功能用途: 控制分析儀氣體進樣。

6．分析儀系統控制模塊功能用途: 自動控制氣體采樣及自動控制氣體進樣順序。

7．分析儀進樣器模塊推車及移動式總有機污染物分析儀系統功能用途: 搭配不同分析儀，設計可移動的推車內置分析儀氣體進樣控制，將采集之氣體樣品供分析儀進行氣體樣品中氨、總硫、總有機污染物…等濃度分析。將實時結果顯示于儀器及/或推車屏幕上。

8．基本靜電防治檢測稽核組件功能用途: 帶記錄裝置的檢測電壓、電流、電阻或功率的儀器用于靜電防治量測電場電阻測量。

9．稀釋校準器及校準器功能用途: 利用流量控制稀釋或標準氣體滲透管的方式校準氣體分析儀，確保氣體分析儀的準確性。

10． 粉塵分析儀: 為使用光學射線的其他儀器及裝置，利用光散射方法分析潔凈室內或別的區域環境的粉塵狀況。

11． 塑料制的軟管功能用途: PFA Tube_1/4" & PFA Tube_3/8"氣體采樣用，以塑料軟管將氣體樣品由采樣點傳送至分析儀進樣器模塊或傳送至分析儀進樣器模塊推車供分析儀進行氣體樣品中氨、總硫、總有機污染物…等濃度分析。